檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "interference".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="曾垂拱"
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本研究以相位量測的方式，針對微奈米級階級性表面進行量測，利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀，同時將光學顯微鏡與相位量測相關原理結合，並加入相位移技術的四相位法，提高整個系統的解析度。在實驗上使…
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以往相位量測法，常用於表面緩慢變化的量測，如平坦度的檢測，而對有階級差的表面，受限於不是連續性的變化，因此不易進行。 本研究內容利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀，同時將光學顯微鏡與相位量測相…
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以往相位量測法，常用於表面連續變化的量測，而對於階級跳動表面（例如光柵），則不易進行。本研究利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀，並結合光學顯微鏡，針對奈米級的光柵量測其線寬及階高。干涉術中加入…
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本研究是有關以光學干涉法進行物件表面的量測。在麥克森干涉系統中加入四分之一波片與偏光鏡來產生相位移的效果，由四相位法(Four-Frame Technique)，計算出代表各點高度的相位資料，以提昇…